微型传感器所具备的基本功能以及它的特点

发布时间：2023年04月03日 18时49分52秒

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　　与传统传感器相比微型传感器它具有许多新的特性，可以弥补传统传感器的不足，同时具有广泛的应用前景，越来越受到重视。本文详细介绍了一些微型传感器的结构和原理，阐述了微型传感器的基本功能及它的特点。

　　微型传感器所具备的功能及特点如下：

　　由于传统传感器材的制造工艺与半导体IC工艺不兼容，无论是功能、规模还是成本，都无法适应IC技能制造的高速、高密度、小体积、低成本信号处理设备，从而限制了整个系统的集成、批量和功能的充分发挥。

　　微型传感器不是传统传感器的简单物理缩小产品，而是通过MEMS加工技术制备的新一代传感器材，它具有小型化、集成化的特点，具有新的工作机制和物化效应，可以大大提高传感器的功能。信号传输前可以扩大信号，然后减少干扰和传输噪音提高信噪比，从而在芯片上集成反应线和补偿线，可提高输出的线性和频响特性，从而减少错误，提高相应的灵敏度。

　　此外微型传感器同时还具有阵列性，除了灵敏元件可以集成在一个芯片上以外，还具有扩大电路和补偿线路的特点。并且可以在同一个芯片上集成多个相同的灵敏元件，兼容性突出等特点便于与微电子设备集成和包装。

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