伟烽压力传感器在微压测量领域中灵敏度极高

发布时间：2022年05月31日 17时55分17秒

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　　在微压测量领域中由于压力数值较小，对敏感元件产生的物理变化也相应的小很多。这就要求了敏感元件需要满足相对较高的灵敏度了。而压力传感器由于灵敏度较高频率对压力的变化比较敏感。因此在低压高精度的测量中有着相对较好的性能表现。当精度要求不是很高的情况下，扩散硅和电容式可以兼顾精度和成本。扩散硅压力传感器的灵敏度较高，其kPa也可应用于微压下的表压绝压测量。

　　那么在低压和中压的测量应用中量程范围可选性相对来说比较地广泛，高精度可选谐振式，中等精度水平可以选用扩散硅式，陶瓷电容电阻式，金属应变式传感器扩散硅式灵敏度高和体积小以及生产工艺复杂且相对成本略高，而陶瓷式成本低、精度低、适合大批量低成本应用中，由于材料的特性其灵敏度低不耐压力瞬变和机械冲击。金属应变类型考虑了成本和精度。经过热处理的弹性体可以满足不同测量介质的要求。根据不同的工艺，敏感元件包括溅射膜、玻璃微熔、应变片等。从低灵敏度到高灵敏度的范围受到弹性体工艺的限制，然而在低压下的测量精度相对较差，实用新型的优点是金属弹性体能够承受较大的冲击。

　　而在中高压的应用中扩散硅和金属应变式各有着广泛的应用，陶瓷受限于材料的强度高压耐受强度较差。金属应变式还具有较大的优势，同时受益于金属弹性体材料的强度可以承受几百兆帕的压力，同时能够应对较大冲击的应用场景。

　　压力传感器如果依照准确度等级来看的话从高精度的0.01级到低精度的4.0级，通常谐振压力传感器还可以满足从低压到高压水平0.01到0.05级的测量要求。扩散硅传感器的精度范围为0.02～0.5级，陶瓷传感器的精度范围为0.2～4.0级，而金属应变传感器的精度范围为0.5～4.0级。

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