压力传感器元件的测量方法
压阻式传感器的高精度及其测量绝对压力,表压和差压的能力使其在各种应用中得到广泛的应用。
对于工业设备和机械,压力传感器所提供的信息可用于最有效地操作液压或气动设备,这可与新的工业4.0标准相关联。
汽车对燃油效率和减少有害排放的要求越来越高,这就需要长期稳定、高精度的传感器了。除了介电电阻外,一些应用要求压力传感器具有抗冻性,但最重要的是传感器需要在其整个使用寿命内提供可靠的信号。
各种用途对压力模的独特特性提出了越来越高的要求,这就需要在模具层面上具有特定的设计特性。开发了一系列TDK压力传感器,重点是提高灵敏度和高性能以及小模具尺寸。此外还特别注意介质电阻和易处理能力的具体特点。
压阻压力传感方法
压阻压力测量
绝对压力测量 – 前侧
玻璃在真空下与硅结合以产生控制真空。被测介质与压力传感器元件芯片前面的有源电子元件接触。
绝对压力测量 – 背侧
对于潮湿或腐蚀性介质,使用额外的玻璃盖在前侧形成控制室。介质应用于侧面入口。
表压和压差测量
表压或压差测量正面和背面之间的差值。较高的前压力导致的压差导致输出信号发生正变化。较高的背压导致输出信号出现负变化。
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