MEMS进气压力传感器有哪些特点

发布时间：2022年04月19日 18时52分50秒

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　　MEMS进气压力传感器具有结构坚固，抗震性好、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快、驱动电路简单、稳定性好、寿命长等特点。可检测包含燃气、烟雾、氢气、一氧化碳、氨气、硫化氢、酒精、口气、VOC等多种气体。

　　MEMS进气压力传感器是基于MEMS工艺的基微热板和清洁空气中低导电的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

　　热电堆温度传感器是基于MEMS技术，其主要是由数百对热电偶串联而成。它采用的是塞贝克原理，当目标与环境之间存在温度差时，这时传感器输出对应的电压来检测出目标存在或目标的温度等。

　　热电堆温度传感器具有高红外响应率和高重复性以及高可靠和稳定性等特点。它在额温/耳温等非接触体温测量、家用电器(空调、护发吹风机、油烟机等)温度测量与控制以及空气调节系统、电力管理系统等领域应用广泛。

　　微流量传感器采用新一代MEMS进气压力传感器芯片技术、它是利用热力学原理检测对流通道中气体介质的流动，具有良好的精度和重复性。可精确测量极小流量，精度高，响应速度快，重复性好，经过完全校准和温度补偿，同时具有线性模拟电压输出，方便使用。

　　微流量传感器在医疗仪器(呼吸机、氧气机等)、便携式仪器、工业过程控制及空气和环境保护等领域有着广泛应用。塑封压力传感器采用的是高精度MEMS进气压力敏感芯片及成熟的生产工艺封装而成的传感器。它具有尺寸小、精度高、宽工作温度范围、常温高精度等特点。

　　MEMS塑封压力传感器常被应用于手持胎压计、电子血压计、空压表、汽车胎压检测、过程控制系统、压力校准仪器、高度计、大气压力测量等领域。MEMS进气压力传感器在物联网、智能制造、智能物流等方面起着非常重要的作用。近年来，国家传感器产业发展的政策环境持续优化，随着“制造强国战略”、“互联网+”行动计划的大力推进，传感器技术及传感器产业的重要性将日益凸显，可以预见，未来传感器技术将是我国科技发展的重中之重!

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