MEMS压力传感器有哪几种类型？

发布时间：2022年03月17日 17时21分12秒

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　　MEMS即微电子机械系统，它所指的是机械、电气和MEMS信号处理系统的集成。而压力传感器是MEMS最早的产品之一。根据工作原理可分为压阻式、电容式和压电式。目前MEMS压力传感器的类型主要有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器两种，这两种都是用在硅片上产生的微型机械电子传感器。下面就由伟烽恒小编来为大家介绍一下，希望能够帮助到大家。

　　第一种类型：硅压阻式压力传感器

　　硅压阻式压力传感器采用高精度半导体电阻应变片构成的惠斯通电桥作为机电转换的测量电路。它具有测量精度高、功耗低、成本低等优点。惠斯通电桥的压阻传感器输出为零，如果没有压力变化，几乎就没有功耗不耗电了。

　　MEMS硅压阻式压力传感器是采用固定在其周围的圆形应力杯的硅膜内壁。利用MEMS技术将四块高精度半导体应变计直接刻在表面应力最大的地方，形成惠斯通测量桥。作为机电转换测量电路，它直接将压力的物理量转换为电能，其测量精度能达0.01-0.03%FS。

　　第二种类型：电容式压力传感器

　　电容式压力传感器使用MEMS技术在硅片上制作出横隔栅状。上下两根横隔栅状成为一组电容式压力传感器，上横隔栅在受压力的情况下从而往下移动来改变上下两根横隔栅之间的间距和板之间的电容大小，即压力=电容量。

　　MEMS压力传感器可以采用类似于集成电路的设计技术和制造工艺，从而进行高精度、低成本的大批量生产，在呼吸机、汽车、耳机、手机等领域有着广泛的应用。

　　以上就是关于MEMS压力传感器有哪几种类型的相关介绍暂时就先介绍到这里了，如果您想要了解更多关于传感器、无线射频的应用、以及选型知识介绍的话，可以收藏本站或者点击在线咨询进行详细了解，另外伟烽恒小编将为您带来更多关于传感器及无线射频相关行业资讯。